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TECHNICAL ARTICLESSensofar共聚焦白光干涉儀|測量原理
Sensofar共聚焦白光干涉儀雖然一開始作為高性能 3D 光學輪廓儀設(shè)計,但是我們的某些系統(tǒng)所有現(xiàn)有的光學輪廓儀,集所有技術(shù)于一身。
Sensofar共聚焦白光干涉儀條紋投影非常適合大面積測量,垂直 精度和可重復性高,系統(tǒng)噪聲低。
我們的Sensofar共聚焦白光儀系統(tǒng)采用不同光學測量技術(shù)進行工作,一部分系統(tǒng)采用組合技術(shù)。聚集這些技術(shù)的優(yōu)點,外加技術(shù)和操作軟件,成就市場上競爭力的高級測量設(shè)備。
采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系統(tǒng)那樣 – 在軟件中單擊一次就可將系統(tǒng)切換到適合當前任務的技術(shù)
S neox 傳感器頭采用 4 種測量技術(shù) – Ai 多焦面疊加、共聚焦、干涉 & 光譜反射 – 因此每種技術(shù)都是實現(xiàn)系統(tǒng)通用性的重要因素,有利于減少數(shù)據(jù)采集時不希望發(fā)生的缺陷,同時提供 Sensofar 的表面測量性能。
技術(shù)
Sensofar共聚焦白光干涉儀的系統(tǒng)采用微顯示掃描技術(shù)。
微顯示以硅基鐵電體液晶 (FLCoS) 技術(shù)為基礎(chǔ),打造沒有運動零件的快速切換裝置,
使共聚焦圖像掃描快速、可靠、精確。微顯示器結(jié)合高分辨率掃描臺和可更換物鏡,
構(gòu)成了一套靈活的光學系統(tǒng)。
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